多维耦合视角下的光栅平动式光调制器机电特性与测试系统构建

一、引言

（一）研究背景与意义

在信息时代，显示技术作为信息呈现的关键窗口，正朝着更高分辨率、更轻薄便携、更低功耗以及更丰富色彩表现的方向迅猛发展。从早期的阴极射线管（CRT）显示器，到如今广泛应用的液晶显示器（LCD）、有机发光二极管显示器（OLED），显示技术的每一次变革都深刻影响着人们的生活和工作方式。而光调制器，作为显示系统中的核心部件，犹如交响乐中的指挥家，精准地控制着光的强度、相位和偏振态等参数，决定了图像的清晰度、色彩鲜艳度以及显示的动态范围，在整个显示技术体系中占据着举足轻重的地位。

随着MEMS/MOEMS（微机电系