适用于三维精密测量的气浮平台结构设计与静动态特性深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业制造领域，随着产品精度和性能要求的不断提高，三维精密测量技术已成为确保产品质量、提升生产效率以及推动技术创新的关键支撑。从航空航天领域中对飞行器零部件复杂曲面轮廓和尺寸精度的严苛把控，到汽车制造行业里对发动机缸体、变速箱齿轮等关键部件的高精度检测；从半导体芯片制造中对纳米级线条宽度和芯片平整度的精确测量，到精密光学仪器制造中对镜片曲率、表面粗糙度的严格检测，三维精密测量的身影无处不在，其测量精度直接关系到产品的性能和可靠性。

气浮平台作为三维精密测量的核心设备，凭借其独特的气浮支承原理，在精