应力调控下锐钛矿TiO?(001)薄膜的制备工艺与结构解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

二氧化钛（TiO?）作为一种重要的半导体材料，因其独特的物理化学性质，在光催化、太阳能电池、传感器等众多领域展现出广泛的应用前景。TiO?存在多种晶相，其中锐钛矿相TiO?由于具有较大的比表面积、较多的表面活性位点以及合适的带隙宽度，在光催化等应用中表现出优异的性能，受到了科研人员的广泛关注。

在实际应用中，薄膜材料因其能够与各种基底良好结合，便于集成化和小型化，具有独特的优势。锐钛矿TiO?(001)薄膜由于其特定的晶体取向，使得表面原子排列和电子结构具有特殊性，进而影响其物理化学性质和应用性