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2025半导体制造工艺微缩化技术模拟考试试题及解析

一、单选题（单选题共20题，每小题列出的四个备选

项中选项中只有一个是符合题目要求的，多选、错选、不

选均不得分。,共1题）

1.在半导体制造工艺微缩化过程中，以下哪种技术对减

小晶体管尺寸起到了关键作用？

【选项】

A.光刻技术

B.涂覆技术

C.化学蚀刻

D.蒸发技术

【参考答案】A

【解析】光刻技术是半导体制造中用于定义电路

pattern的核心工艺，通过对光刻胶的曝

光