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光刻工设备安全规程

文件名称：光刻工设备安全规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于光刻工设备在生产过程中的安全管理和操作。制定本规程的目的是确保员工在生产过程中的人身安全和设备安全，防止事故发生。基本安全原则包括：以人为本，预防为主，综合治理，责任到人。通过规范操作流程，加强安全培训，提高安全意识，确保生产环境安全稳定。

二、作业准备

1.防护措施

a.操作人员应穿戴符合国家标准的安全防护用品，包括但不限于防静电服、防护眼镜、耳