高温环境下热式微流量传感器及检测系统的关键技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，高温环境下的流量精确测量在众多领域中扮演着不可或缺的角色。在能源领域，化石燃料的燃烧过程以及新型能源如氢能、太阳能热发电等的开发利用，都需要对高温气体或液体的流量进行精准把控。例如，在石油化工行业的裂解炉中，精确测量高温裂解气的流量对于优化反应条件、提高产品质量和生产效率至关重要；在太阳能热发电系统中，准确监测高温导热油的流量，有助于确保系统高效稳定运行，提高能源转换效率。

在材料加工领域，诸如钢铁冶炼、玻璃制造等高温工艺过程，流量测量是保障产品质量一致性的关键因素。在钢