磁控溅射法制备Ti-W-N复合膜与TiN/W-N多层膜及其性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与工程领域，薄膜技术作为一种关键的材料制备手段，正发挥着越来越重要的作用。薄膜是指在二维空间中具有有限厚度的材料形态，其厚度通常在纳米到微米级别。通过薄膜技术，能够赋予材料独特的物理、化学和力学性能，极大地拓展了材料的应用范围。从日常生活中的电子产品到高端的航空航天设备，薄膜技术无处不在，对推动科技创新和产业发展意义重大。

Ti-W-N复合膜和TiN/W-N多层膜作为两种具有独特性能的薄膜材料，在机械、电子、能源等多个领域展现出了巨大的应用潜力。Ti-