寄生式时栅角位移传感器安装误差自补偿系统的深度剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在工业自动化进程不断加速的当下，高精度的位移测量技术已然成为众多领域实现精准控制与高效生产的关键支撑。寄生式时栅角位移传感器作为位移测量领域的重要一员，凭借其独特的工作原理和显著优势，在机器人运动控制、精密机床加工、航空航天导航等诸多关键领域得到了极为广泛的应用。

寄生式时栅角位移传感器基于电磁感应原理，将角位移的变化巧妙转化为感应电动势的频率改变，进而实现对角位移的精确测量。这种创新的测量方式赋予了传感器诸多突出特性，如分辨率高、精度卓越，能够满足对微小角度变化进行精准检测的严苛需求；抗干扰能力强