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高精密转台研究的国内外文献综述

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TOC\o1-3\h\u19648高精密转台研究的国内外文献综述 1

206301.1国外相关研究 1

273211.2国内相关研究 1

1.1国外相关研究

A.Sánchez-Alvarez（2018）描述了由LabVIEW通过RS232串行端口控制的光机电集成系统的设计。该系统使用He-Ne激光器产生的偏振光，并通过表面等离振子共振（SPR）并基于棱镜的Kretschmann进行配置后用于光学传感器技术，用于薄膜的光学表征优化和生物传感应用。测量必须具有非常高的精度并且与机械噪声隔离，该系统通过集成思想所需系统功能的步