基本信息

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文档摘要

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扫描电子显微镜操作手册

一、开机

1、打开配电箱总电源。

2、合上背面总电源闸，确认“STAGE”闸和“DISPLAY”闸均为合闸状态。

3、将前面板钥匙从“OFF”转经“START”后自动转回“ON”。

4、打开电脑，双击击桌面上的“PC-SEM”软件，出现如下界面，点击“OK”，进入程序。

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二、样品放置

1、持续按住前面板“AIR”按钮1秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“AIR”键至该键

变为灰色。放气过程中，出现“Spe