Si衬底上NbN/AlN/NbN约瑟夫森隧道结：制备工艺、物性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

超导电子学作为超导体物理与电子学交叉融合的前沿学科，自20世纪初超导现象被发现以来，经历了从理论探索到实验验证，再到实际应用的漫长而辉煌的发展历程。1911年，荷兰物理学家海克?卡梅林?翁纳斯（HeikeKamerlinghOnnes）在研究汞的低温电阻特性时，意外发现当温度降至4.2K时，汞的电阻突然消失，超导现象首次进入人们的视野。这一发现打破了传统物理学中关于电阻的认知，为后续超导电子学的发展奠定了基石。随后，1933年迈斯纳效应的发现，揭示了超导体的完全抗磁性，