基本信息
文件名称:《GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷》专题研究报告.pptx
文件大小:444.84 KB
总页数:42 页
更新时间:2025-11-15
总字数:约小于1千字
文档摘要

;目录;;标准的核心定位:电子工业用硅烷质量管控的权威依据;(二)“黄金准则”的核心支撑:标准的科学性与实用性融合;;;;;;

三、技术要求深度解码:纯度、杂质限值等核心指标如何引领硅烷气体高端化发展?;纯度指标的核心要求:电子级硅烷的纯度门槛与分级标准;(二)杂质限值的科学设定:关键杂质对电子器件的影响与管控边界;(三)物理化学特性指标:保障硅烷应用的稳定性与兼容性;;纯度检测方法:气相色谱法的技术优势与操作规范;;明确样品采集的容器、方式、保存条件,规定检测设备的校准要求与