基本信息
文件名称：INFICON INFICON石英晶体沉积控制仪 薄膜沉积控制仪 Cygnus 2 说明书用户手册.pdf
文件大小：1.03 MB
总页数：6 页
更新时间：2025-11-16
总字数：约1.03万字
文档摘要
石英晶体沉积控制仪和监测仪
Cygnus2薄膜沉积控制仪
OLED应用可选INFICONCrystal12传感器可自动切换晶片，而不会
中断您的过程。由此可实现连续速率监测，从而延长工具
排气的间隔时间。为了实现源控制、速率或膜厚监测和记