铝掺杂氧化锌透明导电膜表面特性：结构、性能与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光电器件领域，透明导电薄膜作为关键材料，发挥着举足轻重的作用。铝掺杂氧化锌透明导电膜（AZO），凭借其出色的综合性能，在众多透明导电材料中脱颖而出，成为研究与应用的焦点。

氧化锌（ZnO）本身是一种具有宽禁带宽度（约3.37eV）和高激子结合能（约60meV）的半导体材料，具备良好的光学和电学性能。通过引入铝（Al）元素进行掺杂后，AZO薄膜的导电性能得到显著提升。铝原子替代部分锌原子，为体系提供了额外的自由电子，从而增加了载流子浓度，有效降低了薄膜的电阻率。同时，在可见光范围内，AZO