*二、俄歇电子能谱分析仪（多功能）激发源试样装置电子能量分析器检测器计算机*1.激发源X射线电子能谱：X射线管；紫外电子能谱：He、Kr的共振线；Auger电子能谱：强度较大的电子枪(5～10keV)。*2.电子能量分析器(1)半球形电子能量分析器改变两球面间的电位差，不同能量的电子依次通过分析器；分辨率高。(2)筒镜式电子能量分析器（CMA)同轴圆筒，外筒接负压、内筒接地，两筒之间形成静电场。灵敏度高、分辨率低；二级串联。*3.检测器产生的光电流：10-3～10