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文档摘要

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项目八电子芯片缺陷检测技术;;伴随着半导体技术和电子产业的蓬勃发展，芯片的缺陷检测技术在整个工业生产过程中扮演的角色也越来越重要。

在芯片生产制造过程中，各工艺流程环环相扣，技术复杂，材料、环境、工艺参数等因素的微变常导致芯片产生缺陷，影响产品良率。

芯片质量检测作为芯片生产线中的关键环节，可以积极地反馈产品质量信息，以便人们及时掌控各生产环节的健康状况，促使质量检测技术在生产线中的作用越来越凸显。

芯片的外观检测的方法有3种：

（1）传统的人工检测方法。

（2）使用激光测量技术进行芯片外观检测。

（3）基于机器视觉的检测方法。;人工目视检测方法因其效率低、精度低、成本高、劳动强度大和标准