基本信息
文件名称：氮化铝晶片吸收系数测试方法.docx
文件大小：193.61 KB
总页数：15 页
更新时间：2025-11-18
总字数：约6.68千字
文档摘要
ICSCCS
29.045H83
CASA
第三代半导体产业技术创新战略联盟Chinaadvancedsemiconductorindustry innovationalliance
团体标准
T/CASAS054—2025
氮化铝抛光片吸收系数测试方法
TestmethodfortheabsorptioncoefficientofAINpolishedwafers
2025-05-20实施2025-05-20发布
202