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分步重复光刻机项目合作计划书

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分步重复光刻机项目合作计划书

目录

TOC\o1-9序言 4

一、背景和必要性研究 4

(一)、分步重复光刻机项目承办单位背景分析 4

(二)、分步重复光刻机项目背景分析 5

二、分步重复光刻机项目概论 6

(一)、创新计划及分步重复光刻机项目性质 6

(二)、主管单位与分步重复光刻机项目执行方 7

(三)、战略协作伙伴 8

(四)、分步重复光刻机项目提出背景和合理性 9

(五)、分步重复光刻机项目选址和土地综合评估 10

(六)、土木工程建设目标 12

(七)、设备采购计划 12

(八)、产品规划