基本信息
文件名称：激光剥蚀设备说明书.pdf
文件大小：299.15 KB
总页数：15 页
更新时间：2025-11-18
总字数：约1.24万字
文档摘要
采购需求
序号设备名称数量采购需求
一.仪器技术要求
1激光源
★1.1准分子脉冲激光器，输出波长：193nm；最
大脉冲能量≥240mJ；最大能量密度@样品表面≥
50J/cm2。