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文档摘要

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高温薄膜表面改性技术优化

目录

1.内容概览 2

1.1薄膜技术的发展与应用 4

1.2高温薄膜表面改性技术的概述 6

2.高温薄膜表面改性的方法 7

2.1气相沉积法 10

2.1.1热蒸发法 12

2.1.2化学气相沉积 14

2.1.3溅射镀膜法 16

2.2液相沉积法 17

2.2.1溅射沉积法 24

2.2.2涂布法 26

2.3物理气相沉积法 29

2.3.1离子轰击沉积 31

2.3.2溅