基本信息
文件名称：GBT-高温扩散用硅舟及硅保温筒.docx
文件大小：563.67 KB
总页数：15 页
更新时间：2025-11-19
总字数：约5.94千字
文档摘要
GB/TXXXXX-XXXX
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GB/TXXXXX-XXXX
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
XXXX-XX-XX发布
XXXX-XX-XX实施
高温扩散炉用硅舟及硅保温筒
SiliconboatandsiliconpedestalforHTdiffusionfurnace
（征求意见稿)
（在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上）
GB/TXXXXX-202X
ICS29.045
CCSH82
GB/TXXXXX-XXXX
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GB/TXXXXX-XXXX
前言
本文件按照GB/T