基本信息
文件名称：2025电容式微机电系统超声换能器性能测评方法.docx
文件大小：411.81 KB
总页数：12 页
更新时间：2025-11-20
总字数：约6.05千字
文档摘要
电容式微机电系统超声换能器性能测评方法
Performanceevaluationmethodforcapacitivemicroelectromechanicalultrasonictransducers
PAGE\*ROMAN
PAGE\*ROMANII
目 次
范围 1
规范性引用文件 1
术语和定义 1
总则 2
测量条件 3
环境条件 3
实验装置 3
阻抗分析仪 3
数字源表 3
示波器 3
信号发生器 3
射频放大器 3
针式水听器 3
水下超声探头 3
位移平台 3
测量水槽