射频MEMS磁芯集成螺线管型平面电感：制备工艺、性能分析与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

随着无线通信技术的飞速发展，射频（RF）技术在现代电子设备中扮演着愈发关键的角色。从智能手机、平板电脑等消费电子产品，到5G基站、卫星通信系统等大型基础设施，射频技术的应用无处不在。在射频电路中，电感作为重要的无源元件，承担着调谐、匹配、滤波等关键功能，其性能的优劣直接影响着整个射频系统的性能表现。例如，在射频前端模块中，电感用于实现阻抗匹配，确保信号的高效传输，减少信号反射和损耗，从而提高通信质量和系统效率。

在过去的几十年里，集成电路产品的发展基本遵循Moore定律，尺寸不断缩小