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随着科技的进步，航天、医疗、能源等领域均使用性能更优异的压电半导

体器件以完成产品性能迭代。区别于传统材料孤立的研究单个物理场，压电半

PS

导体（）材料因其特殊的多场耦合效应，可以深入研究力、电、热、载流子

各场间的相互作用，为传感器、能量收集器等新型智能材料器件的研发提供理

论支撑。由于非理想界面的影响，当结构从宏观尺寸缩小至纳米尺寸时，压电

半导体结构静态多物理场出现显著变化。这将对