HPPMS/DCMS共溅射制备Ti-Cu薄膜：结构与性能的深度解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

材料科学的不断进步推动着众多领域的创新与发展，薄膜材料作为其中的重要分支，因其独特的物理、化学和力学性能，在电子、光学、生物医学、航空航天等诸多领域展现出了巨大的应用潜力。Ti-Cu薄膜作为一种新型的二元合金薄膜，结合了Ti和Cu两种金属的优异特性，具备良好的机械性能、耐腐蚀性、生物相容性以及独特的电学和催化性能，成为了材料研究领域的热点之一。

在生物医学领域，心血管疾病严重威胁着人类的健康，血管支架作为治疗心血管疾病的重要医疗器械，其性能的优劣直接影响着治疗效果和患者的生活质量