;目录;;;;（三）与其他测量方法的核心差异及标准选择逻辑;;;;;;;（二）随机误差的产生机制与抑制措施;;;触针压力参数的设定逻辑与标准范围;（二）扫描速度与采样间隔的优化配置方案;（三）未来智能化参数设定的发展方向;;;;;;;;;;;;;;触针式轮廓仪法与椭圆偏振法的互补应用场景;（二）与干涉法、原子力显微镜法的