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文件名称:氮化铝陶瓷的制备及金属化研究.pdf
文件大小:3.43 MB
总页数:80 页
更新时间:2025-11-20
总字数:约9.96万字
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摘要

摘要

氮化铝(AlN)陶瓷作为高功率电子封装的关键材料,其制备工艺与性能

优化对提升器件散热效率及可靠性至关重要。氮化铝陶瓷基板由于生产工艺

中,浆料固含量低粘度高等问题导致其在流延时不便于成型,以及在烧结后容

易产生致密度低,性能差等问题,因此本文为了解决因浆料固含量问题产生的

性能问题,开发了高固含量、低粘度的AlN浆料,结合分段排胶工艺制备了无

缺陷生瓷片;为了解决氮化铝难以烧结致密,烧结时间长,以及