MEMS多层薄膜力学特性的多维度探究与精准测试结构设计

一、引言

1.1MEMS技术发展与多层薄膜应用

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为一种将微型传感器、执行器、电子电路等集成在微小尺度上的前沿技术，近年来在众多领域取得了飞速发展。在生物医学领域，MEMS技术被用于制造高灵敏度的生物传感器，能够快速、准确地检测生物标志物，为疾病的早期诊断提供了有力支持；在航空航天领域，MEMS惯性传感器凭借其体积小、重量轻、功耗低等优势，广泛应用于飞行器的导航、姿态控制等系统，极大地提高了航空航天设备的性能和可靠性；在汽车行