基本信息
文件名称：URE-2000 35型紫外光刻机技术参数说明书.pdf
文件大小：189.24 KB
总页数：2 页
更新时间：2025-11-21
总字数：约2.06千字
文档摘要
附件1：URE-2000/35型紫外光刻机技术参数
1．技术参数
?曝光面积：4英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：0.8-1?m
?对准精度：?0.8?m
?掩模样片整体运动范围：X：优于15mm;Y:优于15mm
?掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（标准配置，其他尺寸可定做）
?样片尺寸：直径?10mm--?100mm或者15mm?15mm-100mm?100mm(标准配置，其他尺寸
可定做），可适应厚度为0.1mm--5mm(最大可扩展为15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）