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2025年半导体设备零部件等离子体射频电源系统研发与前沿技术创新中心项目可行性分析

TOC\o1-5\h\z\u一、项目概况 2

二、项目建设的必要性 2

1、聚焦国家和战略需求，加强我国半导体产业延链补链强链 2

2、实现我国半导体设备零部件在尖端先进制程的技术创新 3

3、深化现有研发成果，不断丰富公司产品矩阵 4

三、项目建设的可行性 4

1、项目建设符合国家产业政策支持方向 4

2、项目建设的市场前景广阔 5

3、项目的技术储备和人才储备丰厚 7

四、