1-隔振空气弹簧2-床身3-工作台美国LLL实验室超精密机床隔振基础最小分辨率5nm，表面粗糙度Ra0.008um不圆度0.1um，

主轴回转精度0.05um，导轨直线度0.1um/100mm超精密数控车床NAM-800(北京机床所）3.4.1高速加工概念及特点3.4.2高速切削加工技术3.4.3高速磨削加工技术3.4.4高速干切削技术3.4高速切削加工技术3.4.1高速加工概念及特点超高速切削概念示意图Salomon切削理论：工件材料均有一个临界切削速度，在该速度下有最高切削温度。高速切削