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中微公司：国产刻蚀设备领军

者，薄膜业务蓄势待发

?中微公司是国内半导体设备的龙头企业之一，主要为集成电路、LED外延片、功率器件、

MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀、薄膜沉积、MOCVD等设备。公司深耕集成电

路制造核心设备领域，主要产品包括刻蚀与薄膜沉积设备