超导量子比特中铌超导隧道结：制备工艺、性能表征与应用前景探究

一、引言

1.1研究背景与意义

量子计算作为21世纪最具颠覆性的前沿科技之一，正引领着一场新的科技革命。它基于量子力学原理，利用量子比特（qubit）的叠加和纠缠特性，能够实现远超经典计算机的计算能力。在众多量子比特体系中，超导量子比特以其与现有半导体工艺兼容性好、易于集成和扩展等优势，成为目前量子计算领域的研究热点和主流发展方向之一。

超导量子比特的核心部件是超导隧道结，它是实现量子比特量子态调控和读取的关键元件。而铌（Nb）作为一种典型的超导材料，具有较高的临界温度（约9.2K）和良好的超导性能，被广泛应用于超导隧道结的