基于垂直阵列CNTs的纳米吸气剂制备工艺深度剖析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术在众多领域得到了广泛应用，如航空航天、生物医疗、通信等。MEMS器件的性能和可靠性很大程度上依赖于其工作环境的真空度。在高真空环境下，MEMS器件能够有效减少气体分子的散射和摩擦，降低能量损耗，提高器件的灵敏度、稳定性和寿命。例如，在MEMS陀螺仪中，高真空度可以减少气体阻尼，提高其测量精度和响应速度；在MEMS谐振式加速度计中，真空环境有助于提高谐振频率的稳定性，从而提升加速度测量的准确性。因此，实现和维持高真空度对于MEMS技术的发展至