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文档摘要

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氧化钒薄膜：相变特性驱动下的制备工艺与光学性能解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与光电子技术迅猛发展的当下，具有特殊物理性质的功能材料成为研究焦点，氧化钒薄膜便是其中备受瞩目的一员。氧化钒（VOx）薄膜凭借其独特的电子结构，展现出诸多优异的物理化学性质，在众多领域展现出巨大的应用潜力。

从光电子器件领域来看，随着5G通信、高速数据传输以及人工智能等技术的飞速发展，对光电器件的性能提出了更高要求。氧化钒薄膜良好的光学调制特性，使其能够通过外界刺激（如温度、电场、光照等）迅速改变自身光学性能，这一特性在光开关、光调制器等关键光电器件中具有不可替代的作用。例如，在高速光通信网络