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文档摘要

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机械可控裂结法芯片制备工艺与材料力学理论模拟研究

一、引言

1.1研究背景

在现代科技迅猛发展的浪潮中，微纳加工技术作为支撑众多前沿领域进步的关键力量，正深刻地改变着我们的生活与认知。从智能手机、计算机等日常电子设备，到生物医学检测、航空航天等高精尖领域，微纳加工技术的身影无处不在，它已成为推动现代科技发展的核心驱动力之一。其通过对材料进行微米甚至纳米级别的精细加工，能够制造出具有特殊功能和优异性能的微纳器件，极大地拓展了人类对微观世界的操控能力。

机械可控裂结法（MechanicallyControllableBreakJunction，MCBJ）作为微纳加工技术中的一种独特方法，近