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文档摘要

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石墨与石英衬底上多晶硅薄膜的制备工艺及性能差异研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球能源需求的不断增长以及对环境保护意识的日益增强，开发清洁、可持续的能源成为当务之急。太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的清洁能源，在众多新能源中脱颖而出，受到了广泛的关注和研究。太阳能电池作为将太阳能转化为电能的关键装置，其性能和成本直接影响着太阳能的大规模应用。多晶硅薄膜作为太阳能电池的重要材料，具有较高的光电转换效率和相对较低的成本，成为了太阳能电池领域的研究热点之一。

多晶硅薄膜同时具备单晶硅材料的高迁移率以及非晶硅材料可大面积、低成本制备的优势，这使其在集成电路、液晶显示、传感器等众多领域也展现