铝酸镁与铝酸镧衬底上TiO?外延薄膜的制备工艺与性能特性解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，薄膜材料凭借其独特的物理化学性质，已然成为推动众多领域技术革新的关键力量。从日常生活中的电子产品，如智能手机、平板电脑，到关乎能源未来的太阳能电池；从改善环境质量的光催化设备，到提升医疗水平的生物医学传感器，薄膜材料无处不在，其应用极大地改变了人们的生活方式，并推动了社会的进步。

二氧化钛（TiO?）外延薄膜作为薄膜材料中的重要一员，因其卓越的物理化学性能，在光电器件、光催化、传感器等领域展现出巨大的应用潜力，吸引了全球科研人员的广泛关注。TiO?具有良好的化学稳定性，