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文档摘要

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多光谱技术赋能光学元件表面疵病检测：原理、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学系统中，光学元件扮演着核心角色，其质量直接决定了整个光学系统的性能优劣。光学元件广泛应用于天文观测、激光加工、医疗诊断、通信等诸多领域，如天文望远镜中的反射镜、激光切割设备中的聚焦透镜、医疗成像设备中的光学镜头以及光纤通信中的光耦合器等。随着科技的飞速发展，对光学系统的性能要求不断提高，这也对光学元件的质量提出了更为严苛的标准。

光学元件在加工过程中，由于各种因素的影响，表面往往会出现疵病，如划痕、麻点、破边、气泡等。这些疵病虽看似微小，却会对光学系统的性能产生严重的负面影响。从光学原理角度来看