基本信息
文件名称：镀膜机结构组成与设备型号配置说明.pdf
文件大小：5.51 MB
总页数：39 页
更新时间：2025-11-25
总字数：约1.03万字
文档摘要
设备型号讲解
设备型号举例：OTFC1300DBI
设备种类大小配置
?设备种类分为OTFC和Gener
?真空室大小分为600、900、1300、1550、1800、2350
?配置说明：
C:冷凝泵
D:扩散泵
B:电子枪
I:离子源