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低温真空泵性能测量标准方法第6部分：立项与发展报告

摘要

本报告旨在阐述《真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵》标准的立项背景、目的意义、范围及主要技术内容。低温真空泵作为一种洁净、高效且性能优越的真空设备，在航空航天、半导体制造、医疗设备和新能源等关键领域发挥着不可或缺的作用。随着国内科技快速发展，国产低温真空泵逐步实现自主化，但行业在性能测试标准上存在差异，影响了产品的选型、使用和质量控制。本标准通过等同转化国际标准ISO21360-6:2023，填补了国内空白，规范了测试方法，提升了测试可靠性，为低温真空泵的设计、制造和应用提供了统一的技术支撑。报告还详细说明了标准的