超声喷雾热解法下氮铟共掺杂氧化锌薄膜光学性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体材料的广阔领域中，氧化锌（ZnO）薄膜作为一种极具潜力的II-VI族宽禁带氧化物半导体材料，正逐渐崭露头角，成为科研和工业应用领域的研究焦点。其具有一系列令人瞩目的特性，为众多前沿技术的发展提供了坚实的材料基础。

ZnO薄膜的禁带宽度在室温下可达3.37eV，这一特性使其在短波长光电器件的应用中展现出巨大的潜力。例如，在紫外发光二极管（LED）的制造中，基于ZnO薄膜的器件能够高效地发出紫外光，在医疗消毒、生物检测等领域有着重要的应用前景；在紫外探测器方面，ZnO薄膜凭借其对紫外光