基于偏频锁定的激光合成波长干涉纳米位移测量技术的深度剖析与创新应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与技术领域，纳米位移测量技术处于极为关键的地位，其在诸多前沿研究和高端制造产业中发挥着不可或缺的作用。从半导体芯片制造中对光刻设备精度的极致追求，到生物医学领域对细胞微观运动的精准观测，再到航空航天领域对精密零部件加工和装配精度的严格把控，纳米位移测量的精度直接影响着产品性能、实验结果的准确性以及技术的发展水平。例如，在半导体芯片制造中，随着芯片集成度的不断提高，线宽尺寸逐渐缩小至纳米量级，光刻设备的定位精度需达到纳米甚至亚纳米级别，才能满足芯片制造的需求，确保芯片的性能和可靠性。