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文档摘要

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电沉积技术：半导体材料制备与形貌调控的前沿路径

一、引言

1.1研究背景与技术价值

在半导体材料的制备领域，随着科技的飞速发展，对材料微观结构和性能的精准控制成为研究热点与关键需求。传统的半导体材料制备方法，如物理气相沉积（PVD），虽能在一定程度上实现材料的沉积，但面临着高能耗、设备昂贵以及对复杂形貌和微小尺寸结构制备能力有限等问题；化学合成技术则常存在反应条件苛刻、产物纯度难以保证以及形貌控制精度不足等弊端。

电沉积技术作为一种新兴的材料制备方法，凭借其显著优势脱颖而出。该技术在低温环境下即可进行，极大地降低了能耗和生产成本。其工艺灵活性高，通过对电场参数（如电压、电流密度）以及电解液成