基本信息
文件名称：2025半导体超纯水制备用离心泵.docx
文件大小：150.66 KB
总页数：11 页
更新时间：2025-11-28
总字数：约5.22千字
文档摘要
半导体超纯水制备用离心泵
CentrifugalpumpforSemiconductorultrapurewaterpreparation
PAGE\*ROMAN
PAGE\*ROMANII
目 次
前言 II
范围 1
规范性引用文件 1
术语和定义 1
型式、型号与基本参数 2
技术要求 2
试验方法 3
检验规则 5
标志、包装、运输和贮存 6
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半导体超纯水制备用离心泵
范围
本文件规定了半导体超纯水制备用离心泵的型式、型号与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体超纯水制备中前处