碳化硅与蓝宝石衬底上二氧化锡外延薄膜：制备工艺与特性的深度剖析

一、绪论

1.1研究背景与意义

在半导体领域持续发展的进程中，二氧化锡（SnO_2）外延薄膜凭借其卓越的物理性质和广泛的应用潜力，已然成为研究的焦点。作为一种重要的宽禁带半导体材料，SnO_2具备高化学稳定性、优异的光电性能以及可调控的表面特性，这些优势使其在众多关键领域，如太阳能电池、触摸屏、液晶显示屏的透明导电薄膜以及气体传感检测等，发挥着不可或缺的作用。在钙钛矿太阳能电池中，SnO_2作为电子传输层，通过高效的电子传输、空穴阻挡和界面优化，显著提升了电池的效率和稳定性，成为推动太阳能利用技术发展的关键材料之一。在气体传感