基于位相掩模的动态近场全息光刻法：软X射线变间距光栅制备技术探究

一、引言

1.1研究背景与意义

软X射线变间距光栅作为软X射线平焦场光谱仪的核心元件，在同步辐射、强激光等前沿科研领域中发挥着关键作用。在同步辐射光源中，软X射线变间距光栅用于光束线中的光栅单色器，通过精确的分光作用，将同步辐射光单色化，满足不同实验对特定波长软X射线的需求，在原子分子物理、凝聚态物理、材料科学等众多学科研究中不可或缺。在惯性约束聚变实验里，它能够对激光等离子体辐射的各种光谱进行精确测量，为分析和描述激光等离子体的复杂行为提供关键数据支持。随着相关科学装置性能的不断提升，对高质量软X射线变