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文档摘要

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2025年半导体设备国产化技术标准报告

一、2025年半导体设备国产化技术标准报告

1.1行业背景

1.2技术标准体系

1.2.1技术标准体系概述

1.2.2设备性能指标

1.2.3工艺流程

1.2.4材料标准

1.2.5测试方法

1.2.6安全与环保

1.3标准实施与推广

1.3.1标准制定

1.3.2标准实施

1.3.3标准推广

二、半导体设备国产化技术标准的关键技术

2.1关键技术概述

2.1.1精密加工技术

2.1.1.1光刻机技术

2.1.1.2刻蚀机技术

2.1.1.3沉积技术

2.1.2材料科学

2.1.2.1半导体材料

2.1.2.2封装