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文档摘要

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锆钛酸铅薄膜：制备工艺、性能测试与应用前景的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子器件领域，随着科技的飞速发展，对高性能材料的需求日益迫切。锆钛酸铅（Pb(Zr,Ti)O?，简称PZT）薄膜作为一种具有卓越性能的功能材料，在众多关键技术领域中发挥着举足轻重的作用，其重要性不言而喻。PZT薄膜属于钙钛矿结构的铁电材料，具备一系列优异的特性。它拥有突出的铁电性能，可实现电滞回线的稳定呈现，这使得其在非易失性存储器等存储器件中展现出巨大的应用潜力，有望大幅提升存储密度与读写速度。其卓越的压电性能，能够在机械应力与电场之间实现高效的能量转换，这一特性使其成为传感器、执行器等领域