基本信息
文件名称:离子敏传感器.ppt
文件大小:2.24 MB
总页数:51 页
更新时间:2025-11-29
总字数:约小于1千字
文档摘要
离子敏传感器;离子敏传感器;离子选择电极;离子选择电极的分类;;;;;;;;;;离子选择电极分析方法的特点;1、MISFET型传感器和MOSFET型传感器
在半导体基片上先使其形成绝缘层,接着在形成金属膜,此结构为MIS结构。若绝缘层采用氧化物则称为金属-氧化物-半导体结构即MOS结构。
此结构的MISFET(或MOSFET)原理结构如下图所示